中国在直拉单晶硅方面为什么一上来就直接选用石英坩埚
来源:学生作业帮 编辑:神马作文网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/09/26 05:15:35
中国在直拉单晶硅方面为什么一上来就直接选用石英坩埚
大约60年代开始,国产拉晶工艺才开始有所报道,而在选材发面根本找不到文献.我怀疑是不是直接拿国外工艺做的成品.就拿坩埚来说,为什么从第一篇文献开始就直接选用了石英坩埚.有没有用别的坩埚什么的都没提说.有没有业内人士给分析分析
大约60年代开始,国产拉晶工艺才开始有所报道,而在选材发面根本找不到文献.我怀疑是不是直接拿国外工艺做的成品.就拿坩埚来说,为什么从第一篇文献开始就直接选用了石英坩埚.有没有用别的坩埚什么的都没提说.有没有业内人士给分析分析
石英坩埚是直拉单晶所必须的辅料,目前还没听说过能把石英坩埚代替的,你这个提法够新颖.
由于(1)硅的熔点在1450℃,所以硅液的容器必须熔点必须足够高.(2)直拉单晶硅是原子结构重新排列的过程,高纯卫生至关重要,溶不的一点杂质.石英坩埚的材质是sio2,耐高温、稳定,不会带来其他杂质.就是石英坩埚的o原子也对单晶硅的质量影响很大.(3)外国在搞这些科学研究的时候,中国还在吾皇万岁呢,所以这些技术都是上世纪50年代引入中国的,目前的发展来说和人家还有50年的差距!
再问: 只所以换石英坩埚就是因为石英坩埚也有缺陷!!!!!
就是你说的氧的问题。
二氧化硅会和融硅反应生成一氧化硅蒸汽。导致氧原子进入硅液中。氧含量的升高带来一系列行恩能够的变化。
再答: 石英坩埚里面的氧是避免不了的,降氧可以采用其他的办法。
由于(1)硅的熔点在1450℃,所以硅液的容器必须熔点必须足够高.(2)直拉单晶硅是原子结构重新排列的过程,高纯卫生至关重要,溶不的一点杂质.石英坩埚的材质是sio2,耐高温、稳定,不会带来其他杂质.就是石英坩埚的o原子也对单晶硅的质量影响很大.(3)外国在搞这些科学研究的时候,中国还在吾皇万岁呢,所以这些技术都是上世纪50年代引入中国的,目前的发展来说和人家还有50年的差距!
再问: 只所以换石英坩埚就是因为石英坩埚也有缺陷!!!!!
就是你说的氧的问题。
二氧化硅会和融硅反应生成一氧化硅蒸汽。导致氧原子进入硅液中。氧含量的升高带来一系列行恩能够的变化。
再答: 石英坩埚里面的氧是避免不了的,降氧可以采用其他的办法。
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