洁净室洁净度监测中悬浮粒子浓度时怎么计算的

洁净室洁净度监测中悬浮粒子浓度时怎么计算的

1 目的： 检查洁净室（区）空气中悬浮粒子数是否符合要求. 2 范围： 凡本公司10万级、1万级、100级的洁净环境均应作悬浮粒子检查. 3 职责： 测定尘埃粒子数人员、工艺员对本程序实施负责. 4 程序 4.1所用仪器 光散射粒子计数器. 4.2测试规则 4.2.1测试条件 4.2.1.1温度和湿度 洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃~24℃,相对湿度控制在45%~60%之间为宜）. 4.2.1.2压差 空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥4.9Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压. 4.2.2测试状态 静态测试时,室内测试人员不得多于2人. 4.2.3测试时间 4.2.3.1对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始. 4.2.3.2对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始. 4.3尘埃粒子数测定 4.3.1选择采样位置 4.3.1.1对于层流净化间,规定在气流垂直上方,洁净室作业区域上流段位置测量. 4.1.2对于紊流净化间,在水平面上采样. 4.3.2选择最少采样点采样 悬浮粒子洁净度测试的最少采样点数目,查表1确定. 4.3.3采样点的位置 采样点一般在离地面0.8m高度的水平面上均匀布置. 4.4仪器操作参照《尘埃粒子计数器操作程序》. 4.5结果计算 悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算： 4.5.1采样点的平均粒子浓度 ∑Ci A= N 式中：A—某一采样点的平均粒子浓度,粒/ m 3 ； Ci—某一采样点的粒子浓度（i=1,2,3……N）粒/ m 3 ； N—某一采样点上的采样次数,次. 4.5.2平均值的均值 ∑Ai M= L 式中：M—平均值的均值,即洁净室（区）的平均粒子浓度,粒/ m 3 ； Ai—某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2,3……L）粒/ m 3 ； L—某一洁净室（区）内的总采样点数,个. 4.5.3标准误差 SE= √∑（Ai－M） 2 /(L-1) 式中：SE—平均值均值的标准误差,粒/ m 3 . 4.5.4置信上限 UCL=M+t×SE 式中：UCL—平均值均值的95%置信上限,粒/ m 3 ； t—95%置信上限的t分布系数,见下表. 95% 置信上限的t分布系数 采样点数L 2 3 4 5 6 7 8 9 ＞9 t 6.31 2.92 2.35 2.13 2.02 1.94 1.90 1.86 注：当采样点多于9点时,不需要计算UCL. 4.6结果评定 判断悬浮粒子洁净度级别依据下述二个条件： 4.6.1每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即≤级别界限. 洁净度级别 尘埃数/m 3 ≥0.5μm ≥5μm 100 ≤3500 0 10000 ≤350000 ≤2000 100000 ≤3500000 ≤20000 4.6.2全部采样点的粒子浓度平均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限. 表 1 最少采样点数目 面积（m 2 ） 洁 净 度 级 别 100 10000 100000 ＜10 2~3 2 2 ≥10~＜20 4 2 2 ≥20~＜40 8 2 2 ≥40~＜100 16 4 2 注：表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积；对于非单向流洁净室,指的是房间面积.
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