能够进行定点测量、振动测量和表面轮廓测量非接触式的激动位移传感器有?

来源：学生作业帮编辑：神马作文网作业帮分类：物理作业时间：2024/11/13 08:24:04

英国真尚有ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率.对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具.
高精度激光位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃.该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,高精度激光位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器.
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