半导体行业使用的气体具体用途是什么

来源：学生作业帮编辑：神马作文网作业帮分类：化学作业时间：2024/09/25 10:43:28

半导体行业使用的气体具体用途是什么
比如说：硅烷,笑气,氯化氢,氨气,CF4,SF6,等常用气体.我相信肯定有行业内的大侠,麻烦指导一下.
先谢谢一楼的回答，我只需要知道哪些气体用于哪些行业就可以，比如说哪些用在太阳能板，哪些用在LED或者电子元器件，

做Si集成电路的fab里,你列举的这些都用的到.
硅烷和笑气,长氧化硅时候用.
HCL:清洗wafer的时候用.
CF4:蚀刻Si和氧化硅的时候用.
SF6:蚀刻Si的时候用.
其他还有BCl3,Cl2,Ar差不多都是蚀刻的使用.

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